什么是電弧蒸發?
       電弧蒸發是物理氣相沉積的一種方式，PVD應用于硬質涂層方面就是從電弧技術開始的，電弧技術最早起源于電焊，將被蒸發的固體金屬（靶材）置于真空腔室內，產生輝光放電后，在靶材表面運行，靶材在很小的范圍內蒸發，大概是幾個微米大小。電弧的運動是由磁場所控制的，蒸發出的金屬離子形成的等離子體將沉積于工件表面，這些工件是在真空腔內旋轉運動，電弧制備的涂層通常被用于工具和零部件的表面涂層，例如，TiN, AlTiN, AlCrN, TiSiN, TiCN, CrCN 和 CrN。蒸發的金屬被電離同時加速進入電場，電弧工藝中實現蒸發材料的高度電離，沉積涂層具有優異的附著力。

                               電弧工藝的示意圖

電弧技術的優點：
+ 高沉積速率(~1-3 µm/h) 
+ 高離化率，形成結合力好，致密的涂層 
+ 靶材冷卻，涂層工件受熱較少，這樣可以在低于100°C以下沉積 
+ 可以蒸發多種成分的金屬，剩余固態靶材成分不變 
+ 陰極可以放置在任何位置（水平、垂直、上部和下部），設備設計靈活

電弧技術的主要缺點：
- 靶材材料受限
- 只能使用金屬（不包含氧化物），導致蒸發溫度不會低 
- 由于很高的電流密度，一些靶材材料以小液滴的形式被蒸發濺出