應用 |
電容器薄膜 |
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蒸發源 |
電阻加熱 |
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基材 |
PET、OPP、PVC、CPP等高分子薄膜、紙、金屬箔等 |
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基材尺寸(寬度) |
670 mm max. |
670 mm max. |
卷繞率 |
1,200 m/min max. |
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膜厚分布 |
±5% (根據沉積條件而變化) |
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膜厚監測儀 |
傳動監控器、渦流監控器、接觸式電阻值監控器等 |
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前/后處理機制 |
基板加熱、交直流轟擊、射頻轟擊等 |
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主要疏散系統 |
油擴散泵、油擴散噴射泵 |