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    功能性薄膜涂層設備
    產品簡介
    該系統具有靈活的配置,可以與ARC、MS、HIPIMS等技術組合使用,為新涂層,新材料的開發提供更多的可能性。
    >> 咨詢熱線:13631759325

     匯成在PMA I 專利技術的基礎上,開發出PMA II專利技術,并成功的將PMA II技術集成到新一代HCSH涂層系統上。該系統具有靈活的配置,可以與ARC、MS、HIPIMS等技術組合使用,為新涂層,新材料的開發提供更多的可能性。

    真空鍍室的真空密封和室內運動部件的設計和用材,充分考慮可承受高溫,配置多只高效園形電弧蒸發源,或配多個矩形平面電弧蒸發源,也可配多只空心陰極槍,同時配置耐沖擊的、具有優異滅閃弧性能的偏壓電源,保證足夠等離子體密度和反應活性,提高膜層致密性和結合力。工件可三維運動,提高膜層均勻性。全自動控制提高工藝穩定性??慑冎芓iN、TiC、TiCN、TiAlN、TiAlCN、TiCrN、TiCrCN、TiAlCrN、多層超硬膜等。

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     廣泛應用于科研、半導體、工具、刀具、模具、零部件、醫療器械、光學、新能源等行業。

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